Specialty Process Gas Monitors
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 OPTI-Sense 系列

非色散红外监测仪


特征


  • 非色散红外技术
  • 适用于吸收红外光的气体(SiF4, SiF3, CO, CO2, CF4, SF6, NF3, WF6 和其他气体)​
  • 响应时间快
  • 高敏感度
  • 种类明确
  • 无易耗品
  • 无移动部件
  • GUI LabView软件(可选)

下载

  
  
  
SAL000096A - NDIR.pdfOPTI-Sense Specification2939 KB
SAL000096D-CN OPTI-Sense NDIR Monitor.pdfOPTI-Sense Chinese Specification1906 KB

规格



NDIR.PNG

概述


OPTI-Sense系列传感器建立在非色散红外测量法基础上,能够精确测量半导体应用中产生的特种气体的红外光谱吸收。传感器设计紧凑,且无移动部件,适合在半导体工业中用于连续的现场气体监测。

软件内置诊断系统。全部OPTI-Sense系列传感器都配有模拟和数字交互,使其可以简单地整合进绝大多数工业流程。​



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