Catalytic Ozone Destructs
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 CAT-O3 系列

  催化臭氧破坏器​

特征


  • 全焊接结构
  • 完全独立
  • 反应时间快
  • 无消耗品
  • 无需维护
  • 安装简单

维护

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参考手册第五章。

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下载
  
  
  
SAL000100B - Catalytic Ozone Destructs.pdfCAT-O3 Specification1739 KB
SAL000100B-CN Catalytic Ozone Destructs_rev.pdfCAT-O3 Chinese Specification3098 KB

规格

CATO3.PNG

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应用

 

  • 半导体
    • 化学气相沉积 硅酸乙酯/臭氧
    • 原子层沉积
    • 有机金属化合物化学气相沉积
    • 灰化器
    • 湿台流程
    • 喷涂工具
    • 其他

概述


CAT-O3系列臭氧破坏器能够安全地分解高浓度臭氧到亚ppm浓度级，远远低于推荐的安全臭氧浓度。该仪器使用金属氧化物被动催化臭氧转化为氧气。

CAT-O3系列臭氧破坏器的外壳由不锈钢焊接而成，并配有热屏蔽层。该设备的设计能够满足行业内严格的安全标准。​



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Teledyne API是气体质量监测和工业流程气体监测仪器的全球市场领导者​，​​我们的总部位于加尼福尼亚州圣地亚哥。 ​

 

 

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